無源零差偏振激光干涉儀的誤差研究

全部作者： 楊軍 吳冰 劉志海 苑立波 第1作者單位： 哈爾濱工程大學理學院 論文摘要： 基于偏振光的瓊斯矩陣理論，研究了用于納米測量的偏振干涉儀的誤差產(chǎn)生原因和作用機理，目的是為偏振干涉儀光學元件的選擇、光路的調整及其誤差的補償提供依據(jù)。理論研究表明，由于元件性能的不理想和調整的不完善使光束偏振態(tài)產(chǎn)生退化是導致干涉儀測量誤差的主要原因，其中以波片的.差模延遲角誤差最為明顯�；�于偏振移相技術的無源0差激光干涉儀其特征是輸出4路相互正交的干涉信號。利用此特點，通過對元件的嚴格篩選和精細調整，并且選用差動信號處理方案，以使干涉儀滿足納米測量的要求。 關鍵詞： 激光；偏振干涉；正交信號；誤差 (瀏覽全文) 發(fā)表日期： 2006年07月07日 同行評議：

1. 引言，郭彥珍等人討論0差干涉儀誤差的情況[12]，但沒有分析時沒有考慮采用偏振移相技術的4路接收裝置。（語句修改） 2. 偏振激光干涉儀被消偏振分光棱鏡NPBS 均勻的分成兩束 （這里NPBS 應為非偏振分光棱鏡）。 3. 偏振片誤差分析，圖4 所示為ε P 、α P 、δ 分別連續(xù)變化時干涉儀的誤差函數(shù) f（ Δφ ,δ ,α P ,ε P ）的特性。（這里圖4應改為圖5）。 此外，誤差分析討論中，若能增加對基于偏振移相技術的4路接收方案與其它技術或其它方案的比較可能更充實。

綜合評價： 修改稿： 注：同行評議是由特聘的同行專家給出的評審意見，綜合評價是綜合專家對論文各要素的評議得出的數(shù)值，以1至5顆星顯示。

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